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開度指定型バルブ
GAZシリーズ
特 長
- 01.排気特性に優れたゲートバルブ。
- 02.80A~150Aまでの口径に対応。
- 03.アブソリュートセンサにより原点記憶。
- 04.設置姿勢は全方向自由。
- 05.極低騒音での開閉動作。
- 06.ステンレス研磨材により低いガス放出性。
仕 様
口径 | 80A ~ 150A |
---|---|
使用圧力範囲 | 105 Pa ~ 10-6 Pa |
リーク量 内部シール(弁) |
1X10-10 Pa・m3/s 以下 |
リーク量 外部シール(軸) |
1X10-10 Pa・m3/s 以下 |
接ガス部材質 | SUS304 |
弁シール | フッ素ゴム Oリング |
軸シール | フッ素ゴム Oリング |
耐熱温度 | 本体: 150℃ |
モータ: 40℃ | |
停電時のバルブ動作 | 現在位置で保持 |