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開度指定型バルブ
GAZシリーズ

開度指定型バルブ GAZシリーズ

特 長

  • 01.排気特性に優れたゲートバルブ。
  • 02.80A~150Aまでの口径に対応。
  • 03.アブソリュートセンサにより原点記憶。
  • 04.設置姿勢は全方向自由。
  • 05.極低騒音での開閉動作。
  • 06.ステンレス研磨材により低いガス放出性。

仕 様

口径 80A ~ 150A
使用圧力範囲 105 Pa ~ 10-6 Pa
リーク量
内部シール(弁)
1X10-10 Pa・m3/s 以下
リーク量
外部シール(軸)
1X10-10 Pa・m3/s 以下
接ガス部材質 SUS304
弁シール フッ素ゴム Oリング
軸シール フッ素ゴム Oリング
耐熱温度 本体: 150℃
モータ: 40℃
停電時のバルブ動作 現在位置で保持

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