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エアー駆動バタフライバルブ BHシリーズ

ラック&ピニオンの単純駆動により、信頼性に優れています。 口径に対するコンダクタンス性能は、真空バルブ中で最大です。

エアー駆動バタフライバルブ BHシリーズ

特 長

  • 01.弁開度が0度~45度と90度(全開)の2位置で作動させることができるので、 1台のバルブでスロー排気と高速排気ができます。
  • 02.通常の全閉(フルクローズ)と全開(フルオープン)用エアーシリンダに加えて、 弁開度を0度~45度の範囲で任意に設定できるエアーシリンダを設けた2段階 の構造です。
  • 03.エアーシリンダーは、小型ながらオープン時の推力倍増(確実な動作)と、ストロークエンドでのエアークッション効果(衝撃緩和)を実現しています。
  • 04.全閉時は、弁体が完全にシールします。
  • 05.取付姿勢や取付方向に制限はありません。
  • 06.面間が極薄であり、コンダクタンス性能が優れています。
  • 07.クリーンルーム内で組立、検査しています。

仕 様

フランジ形式 JIS・ISO・KF(NW)・CF
口径 25A ~ 350A
リーク量 1×10-9 Pa・m3/s以下
使用領域 105~10-5 Pa
接ガス部材質 SUS304
ディスクシール フッ素ゴムOリング
軸シール フッ素ゴムOリング
作動空気圧 0.4~0.6 MPaG
開閉表示 マイクロスイッチ付き(開/閉 各位置検出用)

※特殊仕様品も製作可能です。

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

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