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真空Ｌ型バルブ
エアー駆動ベントバルブ IV・IPシリーズ

エアー駆動ベントバルブ
IV・IPシリーズ

真空容器を大気圧に戻すためのガス導入バルブです。

エアー駆動ベントバルブIV・IPシリーズ

仕　様

品名	エアー駆動ベントバルブ
型式	IV-P15	IV-N25
口径(mm)	Φ4
バルブ機能	ノーマルオープン
作動方式	エアー駆動・バネ復帰
所要空気圧(MPa G)	0.4 ～ 0.6
リーク量（Pa・m³/s）	1×10^-8 以下
使用領域（Pa）	10⁵ ～ 10^-5
接続方式	Φ15ｹﾞｰｼﾞﾎﾟｰﾄ用	NW25 用

品名	エアー駆動ベントバルブ
型式	IP-F38	IP-N25
口径(mm)	Φ4
バルブ機能	ノーマルクローズ
作動方式	エアー駆動・バネ復帰
所要空気圧(MPa G)	0.4 ～ 0.6
リーク量（Pa・m³/s）	1×10^-8 以下
使用領域（Pa）	10⁵ ～ 10^-5
接続方式	Φ38	NW25 用

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。