真空用リリーフバルブ
リリーフバルブはチャンバーをベントする際、ベントガスでチャンバーが過圧にならないよう大気圧を超えると自動で圧力を逃がします。
特 長
- 01.リリーフ機能単体のR-N16とベント機能付きのVR-N16をラインナップ
- 02.真空計をはじめとする真空機器を過圧から保護し破損と人身事故を防止
- 03.ツマミの回転量で開放圧力を調整可能
- 04.接続フランジはワンタッチクランプで取り付け可能なNW16
仕 様
| フランジ | R-N16 | VR-N16 |
|---|---|---|
| 開放圧力調整範囲 ※1 | 0.115 ～ 0.170 MPa （abs） | |
| 接続フランジ | NW16 | |
| 排出口（ﾘﾘｰﾌﾎﾟｰﾄ） | Rc1/8 | |
| 接ガス部材質 | アルミ合金 | |
| 弁体パッキン | フッ素ゴム Oリング | |
| リーク量 | 1×10-８ Pa・m3／s以下 | |
| 使用領域 | 0.2 MPa ～ 10-５ Pa （abs） | |
| 限界温度 | 70 ℃ | |
| 質量 | 0.3 kg | 0.4 kg |
| ベント機能 | ||
| ガス導入口 | ― | Rc1/8 |
| 弁体パッキン | ― | フッ素ゴム Oリング |
| 軸シール | ― | フッ素ゴム Oリング |
| エアーシリンダ形式 | ― | 単動（N.C.） |
| 圧縮空気供給口 | ― | M5 |
| 所要空気圧 | ― | 0.4～0.6 MPa G |
※開放圧力調整範囲は8%程度の個体差があります。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
