MIYUKIの真空バルブ
MIYUKI製真空バルブの特長は、高排気を考慮したコンダクタンス設計と逆圧(大気圧/真空)でも余裕のあるシール性能にあります。これまでの実績と致しましては、半導体・液晶・有機EL・太陽光・医薬・食品など、真空に関わる様々な産業分野で弊社製品はお役に立っています。 真空バルブ専門メーカーならではのこの実績を是非一度お試し下さい。
真空バルブ ラインナップ
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圧力制御コントローラー
コントローラーを使用して、モーター駆動のゲートバルブ・バタフライバルブの自動圧力制御を行ないます。
圧力制御コントローラ― -
圧力制御専用バルブ
圧力制御コントローラーに対応した専用の真空バルブです。極低騒音での開閉およびコントロール動作が可能です。
圧力制御専用バルブ -
真空バタフライバルブ
面間が超薄型でコンダクタンス性能に優れています。取付姿勢や取付方向に制限なく使用できます。
圧力制御専用バルブ -
真空ゲートバルブ
真空ロー付けによって製作された高信頼性・高寿命のゲートバルブです。特に逆圧での信頼性に優れています。
真空ゲートバルブ -
真空ストレート型バルブ
ストレートバルブのSEシリーズと、5種類の中から継手を選択できるベローズバルブのSGシリーズがあります。
真空ストレート型バルブ -
真空L型バルブ
エアー駆動、電磁駆動、手動の作動方式があり、さまざまな用途にご利用いただけます。
真空L型バルブ -
ポジション設定シリーズ
開度指定型専用バルブBAZ・GAZは通常の全開、全閉に加え100開度にポジション設定が可能です。
ポジション設定シリーズ -
真空リリーフバルブ
リリーフバルブはチャンバーをベントする際、ベントガスでチャンバーが過圧にならないよう大気圧を超えると自動で圧力を逃がします。
真空リリーフバルブ -
新製品情報
新しくリリースされた製品、今後リリース予定の製品をここで紹介しています。
新製品情報
お知らせ
- 2024.12.04
- 代表取締役交代のお知らせ
- 2024.08.20
- 【新製品インフォメーション】
自動圧力制御コントローラーMG-mini485を公開しました。
- 2024.01.11
- 環境への取り組みページに【ふじさんネットワーク・富士山みがきあげ作戦】 の活動報告を公開しました。
- 2021.03.25
- 【コントロールゲートバルブとコントローラの型式および仕様変更のお知らせ】