真空バルブの専門メーカー
アクチュエータの配置場所を工夫し、外形の短縮を実現しました。逆圧に対するシール性能に優れています。
特 長
仕 様
1×10-11Pa・m3/s以下 1×10-10Pa・m3/s以下
※特殊仕様品も製作可能です。
※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは、お問合せください。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
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