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コントロールゲートバルブ
GARシリーズ

コントロールゲートバルブ GARシリーズ

特 長

  • 01.排気特性に優れたゲートバルブ。
  • 02.80A~400Aまで幅広い口径に対応。
  • 03.停電時もフルクローズのシール可能。
  • 04.極低騒音での開閉およびコントロール動作。
  • 05.フルクローズまで流量制御可能な構造。
  • 06.ステンレス研磨材により低いガス放出性。

仕 様

口径 80A ~ 400A
使用圧力範囲 105 Pa ~ 10-6 Pa
リーク量
内部シール(弁)
1X10-10 Pa・m3/s 以下
リーク量
外部シール(軸)
1X10-10 Pa・m3/s 以下
接ガス部材質 SUS304
弁シール フッ素ゴム Oリング
軸シール フッ素ゴム Oリング
耐熱温度 本体: 150℃
モータ: 40℃
停電時のバルブ動作※6 停止(フルクローズ以外は保持力無し)

※GARは取り付け姿勢の制限があります。詳しくはお問い合わせ下さい。

※停電対策品の製作も可能です。

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