エアー駆動ゲートバルブ
GHシリーズ
アクチュエータの配置場所を工夫し、外形の短縮を実現しました。
逆圧に対するシール性能に優れています。
特 長
- 01.１台のバルブでメイン排気と、流量調整が可能です。弁開度を任意に設定できるサブシリンダーが付いています。
- 02.エアーシリンダーは、小型ながらクローズ時の推力倍増（確実なシール）とストロークエンドでのエアークッション効果（衝撃緩和）を実現しています。
- 03.弁体のシール機構は、等間隔のボール押付け方式により、逆圧での信頼性に優れています。
- 04.ステンレス製ハウジングは、研磨板材を真空ロー付けによって製作しているため、内面のデッドスペースが無くなり、ガス放出を低減しています。
- 05.クリーンルーム内で組立、検査しています。
仕 様
| フランジ形式 | JIS・ISO・CF |
|---|---|
| 呼び径 | 70A ～ 500A (mm) |
| リーク量 （ハウジング） （バルブシート） |
|
| 使用領域 | 105～10-6 Pa |
| 接ガス部材質 | SUS304 |
| 軸シール | フッ素ゴムOリング |
| 駆動方式 | エアー駆動 |
| 作動空気圧 | 0.4～0.6 MPaG |
| 開閉表示 | マイクロスイッチ付き（開／閉 各位置検出用） |
※特殊仕様品も製作可能です。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
