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エアー駆動バタフライバルブ
Bシリーズ

ラック&ピニオンの単純駆動により、 信頼性に優れています。 口径に対するコンダクタンス性能は、 真空バルブ中で最大です。

特 長

  • 01.エアーシリンダーは、小型ながらオープン時の推力倍増(確実な動作)と、ストロ ークエンドでのエアークッション効果(衝撃緩和)を実現しています。
  • 02.全閉時は、弁体が完全にシールします。
  • 03.取付姿勢や取付方向に制限はありません。
  • 04.面間は極薄であり、コンダクタンス性能が優れています。
  • 05.クリーンルーム内で組立、検査しています。

仕 様

フランジ形式 JIS・ISO・KF(NW)・CF
口径 25A ~ 400A
リーク量 1×10-9 Pa・m3/s 以下
使用領域 105~10-5 Pa
接ガス部材質 SUS304
ディスクシール フッ素ゴムO リング
軸シール フッ素ゴムO リング
作動空気圧 0.4~0.6 MPaG
開閉表示 マイクロスイッチ付き(開/閉 各位置検出用)

※特殊仕様品も製作可能です。

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

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