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真空用リリーフバルブ

○過圧の開放!
○真空機器を保護!
○事故を防止!

真空用リリースバルブ

特 長

  • 01.リリーフバルブはチャンバーをベントする際、ベントガスでチャンバーが過圧にならないよう大気圧を超えると自動で圧力を開放します。
  • 02.ツマミの回転量で開放圧力を調節できます。
  • 03.真空計や他の真空機器を過圧から保護し、機器の破損と人身事故を防止します。

仕 様

フランジ NW16
排出口 Rc1/8
ボディ材質 アルミニウム合金
開放圧力調整範囲※ 0.115~0.170 MPa abs
外形寸法(最大) (φ50mm X 95mm)
質量 0.23kg

※開放圧力調整範囲は8%程度の個体差があります。

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