真空バルブの専門メーカー
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真空用リリーフバルブ
真空用リリーフバルブ
○過圧の開放!
○真空機器を保護!
○事故を防止!
特 長
01.リリーフバルブはチャンバーをベントする際、ベントガスでチャンバーが過圧にならないよう大気圧を超えると自動で圧力を開放します。
02.ツマミの回転量で開放圧力を調節できます。
03.真空計や他の真空機器を過圧から保護し、機器の破損と人身事故を防止します。
仕 様
フランジ
NW16
排出口
Rc1/8
ボディ材質
アルミニウム合金
開放圧力調整範囲※
0.115~0.170 MPa abs
外形寸法(最大)
(φ50mm X 95mm)
質量
0.23kg
※開放圧力調整範囲は8%程度の個体差があります。
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