エアー駆動ゲートバルブ
GHシリーズ
アクチュエータの配置場所を工夫し、外形の短縮を実現しました。
逆圧に対するシール性能に優れています。
特 長
- 01.1台のバルブでメイン排気と、流量調整が可能です。弁開度を任意に設定できるサブシリンダーが付いています。
- 02.エアーシリンダーは、小型ながらクローズ時の推力倍増(確実なシール)とストロークエンドでのエアークッション効果(衝撃緩和)を実現しています。
- 03.弁体のシール機構は、等間隔のボール押付け方式により、逆圧での信頼性に優れています。
- 04.ステンレス製ハウジングは、研磨板材を真空ロー付けによって製作しているため、内面のデッドスペースが無くなり、ガス放出を低減しています。
- 05.クリーンルーム内で組立、検査しています。
仕 様
フランジ形式 | JIS・ISO・CF |
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呼び径 | 70A ~ 500A (mm) |
リーク量 (ハウジング) (バルブシート) |
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使用領域 | 105~10-6 Pa |
接ガス部材質 | SUS304 |
軸シール | フッ素ゴムOリング |
駆動方式 | エアー駆動 |
作動空気圧 | 0.4~0.6 MPaG |
開閉表示 | マイクロスイッチ付き(開/閉 各位置検出用) |
※特殊仕様品も製作可能です。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。